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單項(xiàng)選擇題

刻蝕工藝可以和以下哪個(gè)工藝結(jié)合來(lái)實(shí)現(xiàn)圖形的轉(zhuǎn)移？（）

A.氧化
B.離子注入
C.光刻
D.拋光

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單項(xiàng)選擇題

注入損傷與注入離子的以下哪個(gè)參數(shù)無(wú)關(guān)？（）

A.能量
B.溫度
C.劑量
D.質(zhì)量

單項(xiàng)選擇題

摻雜后退火時(shí)間一般在（）。

A.30~60分鐘
B.10~20分鐘
C.60~90分鐘
D.100~120分鐘

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