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單項選擇題

摻雜后退火時間一般在（）。

A.30~60分鐘
B.10~20分鐘
C.60~90分鐘
D.100~120分鐘

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單項選擇題

當(dāng)許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。

A.最低摻雜劑量
B.臨界劑量
C.損傷劑量
D.摻雜劑量

多項選擇題

下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子？（）

A.Cu
B.P
C.Ag
D.Au

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