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多項(xiàng)選擇題

UTM300B 泵的特點(diǎn)是什么（）？

A.按裝方向自由
B.控制器和泵體集成化
C.高壓縮比高背壓
D.采用磁浮軸承

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多項(xiàng)選擇題

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

A.可獲得超、極高真空
B.安裝方向自由
C.無油環(huán)境
D.無噪音無振動(dòng)

多項(xiàng)選擇題

對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

A.抑制異常放電
B.正常放電恢復(fù)速度
C.使用壽命
D.維修速度