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多項選擇題

對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項是（）。

A.抑制異常放電
B.正常放電恢復(fù)速度
C.使用壽命
D.維修速度

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多項選擇題

應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

A.靶材
B.納米金屬墨水
C.不銹鋼真空室
D.玻璃觀察窗

多項選擇題

使用氦氣檢漏的原因是（）。

A.體積小
B.惰性氣體
C.無污染
D.容易驅(qū)散

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