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多項選擇題

使用氦氣檢漏的原因是（）。

A.體積小
B.惰性氣體
C.無污染
D.容易驅(qū)散

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多項選擇題

UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會有哪些好處（）？

A.可調(diào)整排氣速度
B.可調(diào)節(jié)腔體真空度
C.無需流量調(diào)節(jié)閥
D.降低故障風(fēng)險

多項選擇題

油擴散泵的優(yōu)點是什么（）？

A.構(gòu)造簡單、故障少
B.價格低廉
C.低振動低噪音
D.可高速運轉(zhuǎn)