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問答題

【簡答題】比較硅單晶錠CZ、MCZ和FZ三種生長方法的優(yōu)缺點?

答案:CZ法工藝成熟可拉制大直徑硅錠,但受坩鍋熔融帶來的O等雜質(zhì)濃度高,存在一定雜質(zhì)分布,因此,相對于MCZ和FZ法,生長的硅...
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