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問答題

【簡答題】為什么使用外延生長難以得到突變結(jié)？

答案：通常希望外延層和襯底之間界面處的摻雜濃度梯度很陡，但是由于高溫下進行外延生長，襯底中的雜質(zhì)會進入外延層，使得外延層和襯底...

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【簡答題】由外延生長的Grove模型得到外延生長速率與反應(yīng)物濃度成正比，對于以SiCl₄為原料的硅外延為什么隨SiCl₄濃度的增加會出現(xiàn)負(fù)的生長速率？

答案：

【簡答題】用Grove模型解釋分別在高溫區(qū)、低溫區(qū)外延生長時溫度與生長速度的關(guān)系。

答案：

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