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【簡(jiǎn)答題】有哪些物理沉積的薄膜方法?它們各有什么優(yōu)點(diǎn)和限制?哪些薄膜適合于物理淀積?
答案:
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答案:
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答案:
由柵下半導(dǎo)體中的載流子濃度、柵氧化層的厚度、柵氧化層的固定電荷密度、可動(dòng)電荷密度、界面態(tài)密度等有關(guān)
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