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問答題
【簡答題】解釋亮場掩膜版和暗場掩膜版。
答案：
如果一個掩膜版，其石英板上大部分被鉻覆蓋，它就指的是暗場掩膜版。亮場掩膜版有大面積的透明的石英，而只有很細(xì)的鉻圖形。
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問答題
【簡答題】描述投影掩膜版和光掩膜版的區(qū)別？
答案：
投影掩膜版它包括了要在硅片上重復(fù)生成的圖形。這種圖形可能僅包含一個管芯，也可能是幾個光掩膜版通常稱為掩膜版，包含了對于整...
問答題
【簡答題】什么是LOCOS和STI（寫中英文全稱），為什么在高級IC中STI取代了LOCOS，列舉STI的工藝步驟。
答案：
LOCOS：硅的局部氧化隔離 local oxidation of ...
