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問答題
【簡答題】光刻中采用步進掃描技術(shù)獲得了什么好處？
答案：
增大了曝光場，可以獲得較大的芯片尺寸，一次曝光可以多曝光些芯片，它還具有在整個掃描過程調(diào)節(jié)聚焦的能力。
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問答題
【簡答題】解釋掃描投影光刻機是怎樣工作的？掃描投影光刻機努力解決什么問題？
答案：
掃描投影光刻機的概念是利用反射鏡系統(tǒng)把有1：1圖像的整個掩膜圖形投影到硅片表面，其原理是，紫外光線通過一個狹縫聚焦在硅片...
