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【簡答題】光學(xué)光刻中影響圖像質(zhì)量的兩個重要參數(shù)是什么?
答案:
分辨率和焦深。
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問答題
【簡答題】例舉并描述光刻中使用的兩種曝光光源。
答案:
汞燈,高壓汞燈,電流通過裝有氙汞氣體的管子產(chǎn)生電弧放電,這個電弧發(fā)射出一個特征光譜,包括240納米到500納米之間有用的...
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問答題
【簡答題】描述曝光波長和圖像分辨率之間的關(guān)系。
答案:
減少曝光光源的波長對提高分辨率非常重要,波長的越小,圖像的分辨率就越高,圖像就越精確。
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