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問答題

【簡答題】氧化膜厚度的測定方法？

答案：

雙光干涉法、比色法
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【簡答題】熱氧化常見的缺陷有？
答案：

表面缺陷、結(jié)構(gòu)缺陷、氧化層中的電荷
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【簡答題】為何熱氧化時(shí)要控制鈉離子含量？降低鈉離子污染的措施有哪些？
答案： 因?yàn)檠趸瘜又腥绾懈邼舛鹊拟c，則線性和拋物型氧化速率常數(shù)明顯變大。措施有：加強(qiáng)工藝衛(wèi)生方可以避免Na+沾污；也可采用摻氯...
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