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判斷題

CMOS電路是通過有源區(qū)進行隔離的，屬于絕緣介質(zhì)隔離。

答案：錯誤

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STI技術(shù)相比LOCOS工藝，占地面積更小，而且不會產(chǎn)生鳥嘴效應(yīng)。

答案：正確

光刻時，必須將硅片與掩模版進行對準，不同的掩模版之間也要對準，可以采用仔細觀察的方法。

答案：錯誤