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光刻時,必須將硅片與掩模版進(jìn)行對準(zhǔn),不同的掩模版之間也要對準(zhǔn),可以采用仔細(xì)觀察的方法。
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判斷題
形成接觸孔之前,需要先淀積一層PSG或BPSG材料,然后再該層材料上刻蝕出窗口作為接觸孔。
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判斷題
CMOS是由PMOS和NMOS構(gòu)成,制作時可以是P阱結(jié)構(gòu),還可以是N阱結(jié)構(gòu),更可以是雙阱結(jié)構(gòu)。
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