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名詞解釋
再分布
答案：
住擴(kuò)散是將預(yù)擴(kuò)散引入的雜質(zhì)作為擴(kuò)散源，在較高的溫度下進(jìn)行擴(kuò)散，擴(kuò)散的同時(shí)也往往進(jìn)行氧化。目的是為了控制表面濃度和擴(kuò)散深度...
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名詞解釋
預(yù)淀積
答案：
與擴(kuò)散實(shí)在較低溫度下，采用恒定表面源擴(kuò)散方式，在硅片表面擴(kuò)散一層數(shù)量一定按余誤差函數(shù)形式分布的雜質(zhì)，由于溫度較低，且時(shí)間...
名詞解釋
兩步法擴(kuò)散
答案：
為了同時(shí)滿足對(duì)表面濃度，雜質(zhì)數(shù)量，結(jié)深以及梯度等方面的要求，實(shí)際生產(chǎn)中所采用的擴(kuò)散方法往往是兩種方式的結(jié)合，也就是將擴(kuò)散...
