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名詞解釋

預(yù)淀積

答案: 與擴散實在較低溫度下,采用恒定表面源擴散方式,在硅片表面擴散一層數(shù)量一定按余誤差函數(shù)形式分布的雜質(zhì),由于溫度較低,且時間...
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名詞解釋

兩步法擴散

答案: 為了同時滿足對表面濃度,雜質(zhì)數(shù)量,結(jié)深以及梯度等方面的要求,實際生產(chǎn)中所采用的擴散方法往往是兩種方式的結(jié)合,也就是將擴散...
名詞解釋

有限表面源擴散

答案: 如果擴散之前在硅片表面先淀積一層雜質(zhì),在整個擴散過程中這層雜志作為擴散的雜質(zhì)源,不再有新源補充,這種擴散方式稱為有限表面...
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