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名詞解釋

有限表面源擴散

答案： 如果擴散之前在硅片表面先淀積一層雜質(zhì)，在整個擴散過程中這層雜志作為擴散的雜質(zhì)源，不再有新源補充，這種擴散方式稱為有限表面...
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分凝系數(shù)
答案： 對于固相-液相的界面，由于雜質(zhì)在不同相中的溶解度不一樣，所以雜質(zhì)在界面兩邊材料中分布的濃度是不同的，這就是所謂雜質(zhì)的分凝...
名詞解釋

濕氧氧化
答案：

氧氣中攜帶一定量的水汽，Si在其中被氧化成SiO2的過程。
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