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名詞解釋

濕氧氧化

答案：

氧氣中攜帶一定量的水汽，Si在其中被氧化成SiO₂的過程。

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水汽氧化

答案：

高溫下，硅片與高純水蒸氣反應(yīng)生成SiO₂的過程。

干氧

答案：

高溫下，氧氣與硅片反應(yīng)生成SiO₂的過程。

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