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名詞解釋

水汽氧化

答案：

高溫下，硅片與高純水蒸氣反應(yīng)生成SiO₂的過程。

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干氧

答案：

高溫下，氧氣與硅片反應(yīng)生成SiO₂的過程。

網(wǎng)絡(luò)改變劑

答案：

即間隙式雜質(zhì)，如Na，K，Pb，Ca，Ba，Al等。