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單項選擇題

在已擴散結深達0.8μm的p-Si上再進行濕氧，氧化層厚0.2μm時，結深是多少（）

A.0.6μm
B.0.712μm
C.0.512μm
D.0.088μm

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離子注入硼無需退火就有電活性，所以才會出現(xiàn)隨退火溫度升高反而電激活率下降的逆退火現(xiàn)象。

答案：錯誤

多項選擇題

關于離子注入?yún)^(qū)形成非晶層的臨界劑量，下面哪幾種說法正確（）

A.靶溫升高，臨界劑量上升
B.注入離子越輕，臨界劑量越小
C.注入離子劑量率增大，臨界劑量降低
D.注入離子能量越高，臨界劑量越低

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