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對正性光刻來說,剩余不可溶解的光刻膠是掩膜版圖案的準確復制。
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曝光后烘焙,簡稱后烘,其對傳統(tǒng)I線光刻膠是必需的。
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光刻區(qū)使用黃色熒光燈照明的原因是,光刻膠只對特定波長的光線敏感,例如深紫外線和白光,而對黃光不敏感。
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