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曝光后烘焙,簡稱后烘,其對傳統(tǒng)I線光刻膠是必需的。
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光刻區(qū)使用黃色熒光燈照明的原因是,光刻膠只對特定波長的光線敏感,例如深紫外線和白光,而對黃光不敏感。
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步進光刻機的三個基本目標(biāo)是對準(zhǔn)聚焦、曝光和合格產(chǎn)量。
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