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與APCVD相比,LPCVD有更低的成本、更高的產量以及更好的膜性能,因此應用更為廣泛。
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APCVD反應器中的硅片通常是平放在一個平面上。
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外延就是在單晶襯底上淀積一層薄的單晶層,分為同質外延和異質外延兩大類。
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