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判斷題

APCVD反應(yīng)器中的硅片通常是平放在一個平面上。

答案：正確

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外延就是在單晶襯底上淀積一層薄的單晶層，分為同質(zhì)外延和異質(zhì)外延兩大類。

答案：正確

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)界第一種類型的CVD是APCVD。

答案：正確

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