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填空題
立式爐的工藝腔或爐管是對(duì)硅片加熱的場(chǎng)所,它由垂直的()、()和()組成。
答案:
石英工藝腔;加熱器;石英舟
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填空題
硅片上的氧化物主要通過(guò)()和()的方法產(chǎn)生,由于硅片表面非常平整,使得產(chǎn)生的氧化物主要為層狀結(jié)構(gòu),所以又稱為()。
答案:
熱生長(zhǎng);淀積;薄膜
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填空題
列出熱氧化物在硅片制造的4種用途()、()、場(chǎng)氧化層和()。
答案:
摻雜阻擋;表面鈍化;金屬層間介質(zhì)
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