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單項(xiàng)選擇題

從離子源引出的是：（）

A、原子束
B、分子束
C、中子束
D、離子束

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單項(xiàng)選擇題

離子注入層的雜質(zhì)濃度主要取決于離子注入的（）。

A.能量
B.劑量

單項(xiàng)選擇題

離子注入層的深度主要取決于離子注入的（）。

A.能量
B.劑量