A.能量 B.劑量
A.二極管和三極管 B.電力電子器件 C.大規(guī)模集成電路 D.超大規(guī)模集成電路
A.襯底制備 B.原位HCl腐蝕 C.生長(zhǎng)溫度，生長(zhǎng)壓力，生長(zhǎng)速度 D.尾氣的處理
