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填空題
微細(xì)加工工藝方法主要有：（），光刻加工，體刻蝕加工技術(shù)，面刻蝕加工技術(shù)，LIGA技術(shù)，（）和（）。
答案：
超微機(jī)械加工；封接技術(shù)；分子裝配技術(shù)
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填空題
工業(yè)機(jī)器人一般由（），（），（）和（）等幾個部分組成。
答案：
執(zhí)行機(jī)構(gòu)；控制系統(tǒng)；驅(qū)動系統(tǒng)；位置檢測機(jī)構(gòu)
