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多項(xiàng)選擇題

半導(dǎo)體工藝技術(shù)中，器件互連材料通常包括（）等。

A.金屬
B.合金
C.多晶硅
D.金屬硅化物

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多項(xiàng)選擇題

硅半導(dǎo)體工藝中的絕緣材料主要來源于硅自身產(chǎn)生的（）材料等。

A.SiO₂
B.SiON
C.Si₃N₄

多項(xiàng)選擇題

材料根據(jù)流經(jīng)材電流的不同可分為三類（）。

A.導(dǎo)體
B.絕緣體
C.半導(dǎo)體