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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述離子注入的應(yīng)用？
答案：
溝道區(qū)及阱區(qū)摻雜這部分注入工藝的能量比較寬，但劑量屬中低范圍，所以此部分注入工藝基本上使用中束流及高能注入機(jī)。
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述離子注入機(jī)的各部分工作原理？
答案：
離子注入機(jī)主要由離子源、分析磁體、加速聚焦器、掃描偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、靶室及終端臺(tái)和真空系統(tǒng)6大部分組成。
1）離子源的...
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