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單項(xiàng)選擇題

進(jìn)行溝槽填充常用的金屬材料是（）。

A.銅
B.鋁
C.鎢
D.金

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單項(xiàng)選擇題

化學(xué)機(jī)械拋光液的主要成分不包括的是哪個(gè)？（）

A.還原劑
B.分散劑
C.腐蝕介質(zhì)
D.磨料

多項(xiàng)選擇題

CMP的設(shè)備構(gòu)成包括（）。

A.臺(tái)板
B.拋光液
C.拋光墊
D.夾持設(shè)備