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【簡答題】干法刻蝕的目的是什么?例舉干法刻蝕同濕法刻蝕相比具有的優(yōu)點。干法刻蝕的不足之處是什么?
答案:
干法刻蝕的主要目的是完整地把掩膜圖形復制到硅片表面上。
干法刻蝕的優(yōu)點:
1.刻蝕剖面是各向異性,具...
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