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問答題
【簡答題】
如圖為鋁金屬化與銅金屬化工藝的比較。識別并描述每個工藝步驟。
答案：
（a）鋁金屬化工藝下層鋁導線層間絕緣介質(zhì)沉積/平坦化通孔刻蝕通孔填充，形成鎢插塞上層鋁淀積上層鋁導線刻蝕
（b...
（b...
