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填空題

有限表面源擴(kuò)散的雜質(zhì)分布服從（）分布。

答案：高斯

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雜質(zhì)原子（或離子）在半導(dǎo)體晶片中的擴(kuò)散機(jī)構(gòu)比較復(fù)雜，但主要可分為兩種機(jī)構(gòu)：替位式擴(kuò)散和（）式擴(kuò)散。

答案：間隙

入射離子的兩種能量損失模型為：核碰撞和（）碰撞。

答案：電子

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