- 搜標(biāo)題
- 搜題干
- 搜選項(xiàng)
問答題
【簡答題】列出恒定表面源擴(kuò)散的三種主要工藝參數(shù)，并說明其含義和主要影響因素。
答案：
摻雜劑量（Predeposition dose）：單位面積硅片內(nèi)的雜質(zhì)數(shù)。
對于恒定表面源擴(kuò)散，由于...
對于恒定表面源擴(kuò)散，由于...
你可能感興趣的試題
問答題
【簡答題】什么是恒定表面源擴(kuò)散？其擴(kuò)散形成的結(jié)深主要受哪些因素的影響？其中哪一個(gè)影響最主要？為什么？
答案：
如果在整個(gè)擴(kuò)散過程中，硅片表面的雜質(zhì)濃度始終不變，這種類型的擴(kuò)散稱為恒定表面源擴(kuò)散。結(jié)深只與擴(kuò)散時(shí)間t和擴(kuò)散系數(shù)D有關(guān)，...
問答題
【簡答題】解釋擴(kuò)散系數(shù)及其物理含義，并說明影響擴(kuò)散系數(shù)的主要因素是什么，及如何影響？
答案：
雜質(zhì)的擴(kuò)散流密度與雜質(zhì)的濃度梯度成正比，將二者之間的比例系數(shù)定義為雜質(zhì)在基體材料中的擴(kuò)散系數(shù)，其單位為cm2<...
