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問答題
【簡答題】簡述外延的概念和作用？ 什么是同質(zhì)外延？什么是異質(zhì)外延？
答案：
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問答題
【簡答題】簡述化學(xué)氣相淀積的原理？
答案：
①氣態(tài)反應(yīng)劑被輸送至反應(yīng)腔，以平流形式向出口流動。
②反應(yīng)劑從主氣流區(qū)以擴(kuò)散方式通過邊界層到達(dá)硅片表面。
②反應(yīng)劑從主氣流區(qū)以擴(kuò)散方式通過邊界層到達(dá)硅片表面。
