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問答題

【簡答題】說明金屬CVD的優(yōu)勢和主要用途。

答案: LPCVD可以應(yīng)用于制作金屬薄膜
優(yōu)勢:
①不需要昂貴的高真空泵;
②臺階覆蓋性好;
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