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名詞解釋

答案：只能剝離技術(shù)是一種注入氫離子然后進行剝離的技術(shù)，即在鍵合的一片晶片上注入氫離子，然后和另一硅片在一定溫度下鍵合，鍵合熱處...

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答案：

通過氧離子注入到硅片，與硅發(fā)生反應(yīng)形成二氧化硅沉淀物，再經(jīng)高溫退火過程形成SiO₂層，同時消除注入缺陷。

答案：稱絕緣層上硅，把器件做在絕緣襯底生長的硅單晶層上。