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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】何謂Spacer? Spacer蝕刻時(shí)要注意哪些地方？
答案：
在柵極(Poly)的兩旁用dielectric（介電質(zhì)）形成的側(cè)壁，主要由Ox/SiN/Ox組成。蝕刻spacer 時(shí)要...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】何謂Hot carrier effect (熱載流子效應(yīng))?
答案：
在線(xiàn)寛小于0.5um以下時(shí), 因?yàn)樵?漏極間的高濃度所產(chǎn)生的高電場(chǎng),導(dǎo)致載流子在移動(dòng)時(shí)被加速產(chǎn)生熱載子效應(yīng), 此熱載子效...
