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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述濕法和干法的定義與區(qū)別、特點(diǎn)？

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答案： •正性光刻是把與掩膜版上相同的圖形復(fù)制到晶圓上。
•負(fù)性光刻是把與掩膜版上圖形相反的圖形復(fù)...

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