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【簡答題】在工藝制作過程中哪些工藝可以影響到Vt?
答案:
Poly CD、Gate oxide Thk. (柵氧化層厚度)、AA(有源區(qū))寬度及Vt imp.條件。
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Poly CD(多晶硅尺寸)、Gate oxide Thk(柵氧化層厚度)、AA(有源區(qū))寬度、Vt imp.條件、LD...
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