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單項選擇題
要保證退火爐內(nèi)的露點要求,純化后的氮氣的露點要小于()。
A.0℃
B.-30℃
C.-60℃
D.-50℃
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單項選擇題
還原退火爐內(nèi),保護氣體H2濃度越高,則基板表面氧化膜被還原的速度()。
A.越快
B.越慢
C.無變化
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單項選擇題
還原退火爐正常生產(chǎn)時,要保證爐內(nèi)始終()。
A.微正壓
B.微負壓
C.與外界等壓
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