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填空題
電容傳感器可分為（）、（）和（）三種基本結(jié)構(gòu)形式。為了減小非線性誤差，傳感器通常做成（）結(jié)構(gòu)。
答案：
變面積型電容傳感器；變極距電容傳感器；變介質(zhì)型電容傳感器；差動
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填空題
金屬應(yīng)變片工作原理是利用（）效應(yīng)；半導體應(yīng)變片工作原理是利用（）效應(yīng)。二者靈敏系數(shù)主要區(qū)別是：金屬應(yīng)變片的電阻變化主要由（）引起的，半導體應(yīng)變片的電阻變化主要由（）引起的。
答案：
機械形變產(chǎn)生的應(yīng)變；半導體材料的壓阻；機械形變；載流子遷移率變化
