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問答題

【簡答題】刻蝕的目的是什么？

答案：目的是為涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩膜圖形。

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2.離子束投影光刻技術(shù)（IPL）
3.角度限制投影電子束光刻技術(shù)（SC...

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3.化學(xué)放大深紫外光刻膠；
4...

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