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問答題

【簡答題】當分辨率增加時焦深會發(fā)生什么變化？

答案：焦深減小

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【簡答題】計算掃描光刻機的分辨率，假設波長是248nm， NA=0.65， K是0.6。

答案： 0.6*248/0.65=228.9 R=K*入/NA

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