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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】列出并描述I線光刻膠的4種成分。
答案：
1.樹(shù)脂。光刻膠樹(shù)脂是一種惰性的聚合物基質(zhì)，用于把光刻膠中的不同材料聚在一起的粘合劑
2.感光劑。是光刻膠材料...
2.感光劑。是光刻膠材料...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么是負(fù)膠分辨率的限制，哪種膠應(yīng)用在亞微米光刻膠中？
答案：
由于顯影時(shí)的變形和膨脹，負(fù)性光刻膠通常只有2μm的分辨率。
正性光刻膠。
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】列出并描述兩種主要的光刻膠。
答案：
負(fù)性光刻膠和正性光刻膠。負(fù)性光刻膠是負(fù)相的掩膜圖形形成在光刻膠上、正相掩膜圖形出現(xiàn)在光刻膠上。
