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問答題
【簡(jiǎn)答題】為什么刪氧要用熱生長(zhǎng)？
答案：
因?yàn)闁叛跖c其下的Si具有高質(zhì)量和穩(wěn)定性的特點(diǎn)，柵氧一般通過熱生長(zhǎng)獲得。
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【簡(jiǎn)答題】生長(zhǎng)氧化層和淀積氧化層間的區(qū)別是什么？
答案：
在升溫環(huán)境里，通過外部供給高純氧氣使之與硅襯底反應(yīng)，可以在硅片上得到一層熱生長(zhǎng)的氧化層；沉積的氧化層可以通過外部供給氧氣...
