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問答題

【計算題】假設(shè)有一種半導(dǎo)體材料,晶格常數(shù)a=0.5555nm,如果以Si1-xGex固溶體為襯底,請Si1-xGex的最佳組分是多少?Si晶格常數(shù)0.5431nm;Ge晶格常數(shù)0.5658nm?

答案: 最佳組分即半導(dǎo)體材料與襯底晶格完全匹配。
asiGe=xaGe+(1-x)asi=0.5555nm
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