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單項(xiàng)選擇題

真空蒸鍍分為三個(gè)過程:(),蒸發(fā)源與基片之間的運(yùn)輸,沉積過程。

A.加熱過程
B.蒸發(fā)過程
C.加熱蒸發(fā)過程
D.傳熱蒸發(fā)過程

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