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填空題

閉環(huán)伺服式傳感器較之一般開(kāi)環(huán)式傳感器具有高的（）和（）。

答案：精度；穩(wěn)定性

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半導(dǎo)體應(yīng)變片傳感器的工作原理是基于（）效應(yīng)，它的靈敏系數(shù)比金屬應(yīng)變片的靈敏系數(shù)（）；壓阻效應(yīng)是指（）半導(dǎo)體材料在沿著某一軸向受到（）作用時(shí)，其（）發(fā)生變化的現(xiàn)象。渦電流式傳感器的工作原理是利用金屬導(dǎo)體在交變磁場(chǎng)中的（）效應(yīng)。

答案：壓阻；高；單晶；外力；電阻率；渦流

變間隙式電容式傳感器常作成差動(dòng)的，其主要目的之一是（），目的之二是（），目的之三是（）。

答案：提高靈敏度；提高線(xiàn)性度；克服外界條件對(duì)精度的影響